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超純水系統(tǒng)組成及各組件原理
超純水最初是美國科技界用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其他適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)的水,用于開發(fā)超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)。).現(xiàn)在超純水已經(jīng)廣泛應用于生物、醫(yī)藥、汽車、半導體等制造領(lǐng)域。除了水分子(H20),這種水中幾乎沒有雜質(zhì)。超純水是一般工藝難以達到的程度,比如水的電阻率大于18M。Ω*cm,接近于18.2MΩ*cm被稱為超純水。
超純水系統(tǒng)包括4個處理系統(tǒng):
預處理系統(tǒng);反滲透系統(tǒng);EDI(混合床)系統(tǒng);精細處理系統(tǒng)
傳統(tǒng)的超純水系統(tǒng)工藝流程:
原水箱→原水泵→絮凝劑(PAC)→多介質(zhì)過濾器(MMF)→活性炭過濾器(ACF)→陽床→預處理水箱→RO送水泵→阻垢劑殺菌劑→安全過濾器RO→一級RO高壓泵→一級反滲透→中間水箱→二級RO送水泵→二級RO高壓泵→二級反滲透→中間水箱→EDI送水泵→EDI裝置(或混床)→混合床保安過濾器→紫外線殺菌UV→氮封純水箱→終端循環(huán)泵→除TOC UV裝置→拋光混床→終端安全過濾器→終端微濾→循環(huán)提升泵→終端用水點→氮封水箱
預處理的作用
原水箱:
對外網(wǎng)自來水供水系統(tǒng)進行檢修的壓力進行緩沖,水箱大小可取純水系統(tǒng)產(chǎn)水量的2-3倍。
多介質(zhì)過濾器(MMF):
石英砂過濾器可通過添加混凝劑去除水中的顆粒雜質(zhì)和懸浮物。(PAC)能使膠體顆粒絮凝,從而降低原水的濁度(NTU)、顆粒(SS)改善原水水質(zhì)。
活性炭過濾器(ACF):
活性炭吸附器除了具有MMF特性外,還含有大量表面積和吸附能力強的活性炭,對水中游離氯的吸附率在99%以上,對有機物和色度的去除率也很高。
陽床:
水中溶解的鈣鎂離子可以交換,從而降低水的硬度。
超濾(UF):
超濾是以超濾膜為過濾介質(zhì)。在一定壓力下,當原液流過膜表面時,超濾膜表面密集的許多微孔只允許水和小分子物質(zhì)通過。功能與多介質(zhì)過濾器相同。
預處理水箱:
主要是緩沖預處理系統(tǒng)的反洗再生維修壓力,水箱大小可取純水系統(tǒng)產(chǎn)水量的2-3倍。
反滲透(RO)作用
RO安全過濾器:
RO安全過濾器通常由SUS304制成。經(jīng)過石英砂過濾器和活性炭過濾器后,原水中的大顆粒懸浮物已經(jīng)基本去除,而一些小顆粒懸浮物沒有去除。在這里,再次進行微濾,去除5個μ超過m的懸浮物,以保護RO膜不被堵塞。與此同時,一些活性炭細沫也被截留在反滲透系統(tǒng)之外。
反滲透(RO):
RO系統(tǒng)主要用于去除水中的陰離子、陽離子和有機物、熱源和細菌。RO系統(tǒng)是一種由RO膜導流布和中心管制成的膜分離技術(shù)膜元件,具有選擇透過(半透過)膜的功能,以壓力為驅(qū)動力。多個RO元件裝入不銹鋼耐壓外殼,形成RO元件。
工藝脫鹽系統(tǒng)的關(guān)鍵、成熟的工藝設計和合理的操作、控制和管理直接決定了系統(tǒng)的正常穩(wěn)定出水。與RO膜的使用壽命有關(guān)。RO系統(tǒng)處理后的出水量去除了大多數(shù)無機鹽和幾乎所有的有機物質(zhì)、微生物(細菌、熱源等)。),從而保證了RO系統(tǒng)的質(zhì)量和質(zhì)量。
EDI混床(MB)作用
EDI:
結(jié)合電滲析和離子交換的優(yōu)點,在EDI設備中,進水中的各種離子在樹脂交換后被去除,水被純化。這時,離子交換原理被用來去除水中的離子。水分子被電解成氫離子和氫氧根離子來再生樹脂,同時,在電流的作用下,氫離子和氫氧根離子交換的離子被轉(zhuǎn)移到濃水室排放,從而達到連續(xù)再生和連續(xù)產(chǎn)水的目的。
與混合床相比,EDI的優(yōu)點是不需要酸堿再生、酸堿儲備和酸堿稀釋運輸設施,使用安全可靠,避免工人接觸酸堿。節(jié)約了再生水和再生污水處理設施。降低了運行維護成本,占地面積小,安裝簡單,產(chǎn)水率高,連續(xù)運行,產(chǎn)品水質(zhì)穩(wěn)定,不會因再生而停機。
混床:
將樹脂與陰陽混合,吸附置換水中的陰陽離子,可以制備不同的電阻值得純凈水。
混合床保安過濾器:
一方面是防止混床樹脂泄漏污染氮密封水箱,另一方面是過濾阻擋混床樹脂再生時摩擦產(chǎn)生的微小顆粒。一般混床安全過濾器的過濾直徑為1μm。
殺菌UV:
用256nm紫外線殺死混床產(chǎn)水中的細菌,防止氮封水箱細菌滋生。
精處理系統(tǒng)
氮封水箱:
超純水氮密封水箱是在密封的水箱中加入一定量的氮氣,以確保水箱的一定壓力。氮是一種惰性氣體,可以防止二氧化碳等其他物質(zhì)溶解在水中,影響水質(zhì),保證水箱內(nèi)的水不受二次污染,導致水質(zhì)下降。
除了TOC紫外燈(TOCUV):
高能紫外線燈發(fā)出185nm波長,可以刺激水的光分解,產(chǎn)生能量極高的氫氧根離子。當TOC完全氧化時,這些氫氧根離子會攻擊有機化合物,并將其分解為二氧化碳和水。一些有機物被分解成易氧化的酸基,這些酸基很容易被拋光混合床去除。
拋光混床(polish):
為了確保超純水系統(tǒng)的終端出水水質(zhì)。一般來說,出水水質(zhì)可達18兆歐以上,對TOC、SiO2具有一定的控制能力。不可再生的拋光混床。
終端安全過濾器:
一方面是防止拋光混床樹脂泄漏污染終端超濾和純水循環(huán)管道,另一方面是過濾阻擋使用拋光樹脂時摩擦產(chǎn)生的微小顆粒。終端安全過濾器的過濾直徑為0.1μm。