聯系創洋
電話:
021-66126658
021-66126659
盧總：
139-1700-9455
昆山電話：
0512-5759 1865
郵箱:
sy.lu@cy-water.com
地址:上海市普陀區曹楊路1700號辰金高尚領域T9幢308室
半導體超純水工業廢水的處理
半導體超純水工業廢水介紹
由于超純水廢水的排放標準越來越嚴格，而且新型生產工藝導致超純水工業廢水新型污染物的突現，使得水處理工藝越來越復雜，因此超純水工業廢水的處理變得越來越重要。
一個現代化的半導體生產廠會產生以下五種廢水:
-
酸堿廢水;
-
含氫氟酸（HF）廢水;
-
含有懸浮性固體和膠體物質的化學和機械拋光（CMP）廢水;
-
含銅的CMP廢水;
-
含氨和有機物的廢水。
根據環境法規，這些廢水需要經過特定的預處理，然后通常匯集到一起進行中和。
半導體超純水工業廢水的處理工藝介紹
新型超純水工業廢水處理系統能夠處理上述所有類型的廢水。
1、處理含銅的CMP廢水
首先采用混凝—絮凝沉淀以及斜管式澄清池對廢水進行分離，然后經活性炭去除廢水中的有機物，并且采用選擇性離子交換去除水中的銅（Cu<0.1mg/L)。
注意:可以采用電滲析的方法從洗脫液中回收銅。
2、處理含氫氟酸的廢水
采用投加蠶化鈣和澄清的方式將氫氟酸和磷酸鹽一并沉淀。
3、處理含氨的廢水采用生物處理系統: Biofor生物濾池系統可以在去除有機物（主要是可生物降解的乙醇）的同時進行NH;的硝化與反硝化，或者采用三段附著生長型生物處理工藝。最后，處理后的超純水工業廢水匯合到一起被送至中和池，然后經最終過濾后外排至河流。
服務號
微信公眾號
地址:上海市普陀區曹楊路1700號辰金高尚領域T9幢308室
電話: 021-66126658 021-66126659
傳真: 021- 6507 1195
郵箱: 951970355@qq.com
Copyright◎2023.上海創洋水處理設備股份有限公司All rights reserved.
滬ICP備14015689號-3